Martin Magnusson
Ställföreträdande prefekt & studierektor för grundutbildning
Fabrication of Si-based nanoimprint stamps with sub-20 nm features
Författare
Summary, in English
Avdelning/ar
- Fasta tillståndets fysik
Publiceringsår
2002
Språk
Engelska
Sidor
449-454
Publikation/Tidskrift/Serie
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Volym
61-2
Dokumenttyp
Konferensbidrag
Förlag
Elsevier
Ämne
- Condensed Matter Physics
Nyckelord
- aerosols
- electron beam lithography
- nanoimprint
- etching
Conference name
Micro and Nano Engineering 2001
Conference date
2001-09-16 - 2001-09-19
Status
Published
ISBN/ISSN/Övrigt
- ISSN: 1873-5568
- ISSN: 0167-9317